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智能工廠(chǎng)系統

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    晶圓片裝、卸載

        系統應用長(cháng)手臂多關(guān)節機器人，代替人工在清潔環(huán)境中的晶片的裝載和卸載。使用的機器人清潔度符合ISO登記3級標準，機器的運動(dòng)的范圍節省工業(yè)現場(chǎng)空間。


    機器人晶圓片搬運操作演示



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